功率器件加固技术的工艺设计

本文采用带有厚氧的新器件结构,并辅以后栅氧工艺,可以大大提高器件的抗辐射能力,在此基础上,利用半导体仿真软件对DMOS器件进行工艺设计和仿真,得到最终的整个工艺流程。

上一篇：外加电压对人工湿地处理生活污水效果的影响
下一篇：没有了